Programma :

La struttura della materia. Struttura cristallina e stato amorfo. Difetti ed impurezze. Microstruttura. Processi di non-equilibrio.
Diffusione. Modelli e teoria della diffusione nei solidi. Leggi di Fick e loro soluzione in casi pratici. Giunzioni per diffusione e giunzioni per lega.
Accrescimento dei cristalli. Teoria e pratica dell'accrescimento. Produzione di wafer.
Epitassia. Accrescimento epitassico in fase vapore ed a fascio molecolare.
Ossidazione. Meccanismi di accrescimento e cinetica dell'ossidazione. Tecniche di ossidazione. Proprietà dell'ossido.
Impiantazione ionica. Teoria e pratica del drogaggio per impiantazione. Profili di distribuzione del drogante. Trattamento di ricottura. Gettering.
Metallizzazione: tecniche e controllo. Meccanismi di rottura del film metallico.
Processi litografici. Dry etching.
Tecniche diagnostiche: caratterizzazione chimica e morfologica del substrato e dei componenti, rilevamento di difetti ed impurezze.