Programma :
La struttura della materia. Struttura
cristallina e stato amorfo. Difetti ed impurezze.
Processi di non-equilibrio.
Diffusione. Giunzioni per diffusione e giunzioni
per lega.
Accrescimento dei cristalli. Produzione di wafer.
Epitassia. Accrescimento epitassico in fase vapore
ed a fascio molecolare.
Ossidazione. Tecniche di ossidazione. Proprietà
dell'ossido.
Impiantazione ionica. Teoria e pratica del drogaggio
per impiantazione. Trattamento di ricottura. Gettering.
Metallizzazione: tecniche e controllo. Meccanismi
di rottura del film metallico.
Ricevimento Studenti :
Contattare il docente.
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