Programma:
La struttura della materia.
Struttura cristallina e stato amorfo. Difetti
ed impurezze. Processi di non-equilibrio.
Diffusione. Giunzioni per diffusione e giunzioni
per lega.
Accrescimento dei cristalli. Produzione di wafer.
Epitassia. Accrescimento epitassico in fase
vapore ed a fascio molecolare.
Ossidazione. Tecniche di ossidazione. Proprietà
dell'ossido.
Impiantazione ionica. Teoria e pratica del drogaggio
per impiantazione. Trattamento di ricottura.
Gettering.
Metallizzazione: tecniche e controllo. Meccanismi
di rottura del film metallico.
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